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上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 系列属于宽束型离子源, 散射角度>45°.

霍尔离子源气体流量可选 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同级别.

霍尔离子源电流可选 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 等.

霍尔离子源高浓度提高镀膜沉积速率, 低动能减少离子轰击损伤表面, 宽束设计有效提高吞吐量和覆盖沉积区.

整体易操作, 易维护. 霍尔离子源 eH 提供一套完整的方案包含离子源, 电子中和器, 电源供应器, 流量控制器 MFC 等等.

美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 产品特性：

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品特性:

1.无栅极

2.高电流低能量

3.发散光束 >45°

4.可快速更换阳极模块

5.可选 Cathode / Neutralize 中和器

美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 基本组成：

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列基本组成

1. 灯丝

2. 阳极模组

3. 主要模组

4. 底座（可调整角度, 高度）