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上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100, 属于中型规格栅极离子源. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >400 mA; 离子动能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 灯丝.

采用双阴极灯丝和自对准栅极.加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数：

KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域：

伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域：

1.溅镀和蒸发镀膜 PC

2.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

3.表面改性, 激活 SM

4.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

5.离子蚀刻 IBE