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EDS谱峰里面总是出现一些样品里不可能有的元素,怎么回事?
EDS谱峰里面总是出现一些样品里不可能有的元素,怎么回事?

EDS谱峰里面总是出现一些样品里不可能有的元素,怎么回事?

作者:suce100   2022-05-19 21:20:01  点击:101

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  发生这个问题可能存在以下几种情况:

  a) C和O,一般空气中都有油脂等有机物的存在,很容易吸附到样品表面造成污染,无论TEM还是SEM,都有可能看到C和O的峰。尤其TEM,一般使用C膜支撑,有C再正常不过了。

  b) Al或者Si:SEM因为使用Al样品台或者玻璃基底,所以在样品比较薄的区域扫谱,会有基底的信号出来。

  c) Cu和Cr:这个是TEM里特有的,Cu是使用载网的材质Cu导致的,而Cr一般认为是样品杆或者样品室材质里的微量元素导致的。

  d) B:有些时候分辨率忽然极高,看到了清晰的B峰,这要注意,因为样品在扫谱过程中大范围移动就容易出现这个峰,还有如果样品处于加热状态,也会有B的峰出现。

  e) 一些很难见到的稀土元素或者La系Ac系元素,这很可能是因为噪音的峰较强,仪器的分析认为有微量相应能量区的元素存在,用软件去除即可。


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